Theoretisch vacuüm en ultiem vacuüm zijn soortgelijke concepten, die vaak worden gebruikt op het gebied van industriële vacuümapparatuur, zoals een miniatuurvacuümpomp, miniatuurluchtpomp, miniatuurgasbemonsteringspomp, miniatuurgascirculatiepomp, enz. Wanneer de drukwaarde zo laag is als 0 betekent het zogenaamde theoretische vacuüm, het ultieme vacuüm, dat er geen materie (inclusief moleculen, atomen, etc.) in de staat is, die slechts een theoretische staat is en in de praktijk niet kan worden bereikt.
Hoe lager de drukwaarde is, dat wil zeggen, hoe hoger de vacuümgraad is, hoe dichter het bij theoretisch vacuüm en uiteindelijk vacuüm ligt, en hoe beter de vacuümsnelheid van de pomp. De overeenkomstige eisen aan de levensduur van het materiaal, de afdichtingsomstandigheden, de bewerkingsnauwkeurigheid van onderdelen en dergelijke worden echter ook sterk verbeterd.
Met de ontwikkeling van de instrument- en meterindustrie en de eisen van mensen voor milieubescherming, is er een toenemende vraag naar miniatuurvacuümpompen met een relatief lage prijs, geen olie of vervuiling, een laag energieverbruik en een compact formaat.